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ST-21H型方塊電阻測(cè)試儀是一種依照類(lèi)似的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專(zhuān)門(mén)測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類(lèi)物質(zhì)的薄層電阻。
ST-21H型方塊電阻測(cè)試儀測(cè)量范圍
按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔：
1.方塊電阻 1.00～1999.9Ω/□；
2.方塊電阻 10.0～19999Ω/□；
小分辨率：0.1Ω/□
橫流源：測(cè)量過(guò)程誤差：≤±0.8%
模擬轉(zhuǎn)換器：量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；
測(cè)量不確定度：在整個(gè)量程范圍內(nèi)，測(cè)量不確定度≤5%
四探針探頭規(guī)格：間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ
電源9V疊層電池1節(jié)
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